主要从事用于制造高端芯片的极紫外光源关键技术方面研究，自主完成激光等离子体极紫外光刻光源产生及诊断系统的建立。国内率先开展下一代高功率输出的6.7nm洁净极紫外光源研究工作。近年，在极紫外光学方面已发表论文二十余篇,出版专著1部。授权发明专利2项。主持国际自然基金青年项目1项，省部级等科研项目5项。参与科技部国家重点研发计划、国家外专局Ƙ项目、国家自然科学基金面上项目等十余项。