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副教授
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姓名:谢卓
学历:博士
职称:副教授
研究方向:激光等离子体极紫外光源
邮箱:zxie@cust.edu.cn
主要学习、工作经历
2009.09--2013.06 长春理工大学 光电子技术科学 学士
2013.06--2019.12 长春理工大学 光学 博士
工作经历:
2019.12--2021.12 长春理工大学 物理学院 电子科学技术博士后流动站
2022.01--至今 长春理工大学 物理学院 光电信息科学与技术
主要教学工作
主讲:
《光电子技术基础》课程
主要科研工作

主要从事极紫外光源方面的科研工作,解决我国极紫外光刻相关的重要“卡脖子”技术。建立了测量和表征极紫外光源的集成装置。开展了单脉冲和双脉冲技术来优化极紫外光源,掌握了获得极紫外光源高输出的关键技术。可为实现高稳定性、低碎屑、长运行时间以及高重复频率光源的工程化研究提供技术保障,有望突破我国面临的卡脖子技术瓶颈。

在相关研究中获得以下科研成果:作为项目负责人承担国家自然科学基金--青年基金项目1 项;吉林省科技厅自由探索一般项目1 项;重庆市自然基金面上项目1 项;吉林省教育厅科学技术研究项目1 项。作为合作单位的负责人承担国家自然科学基金---重点项目1项。在Optics Express、Journal of Applied Physics、 Vacuum等期刊发表学术论文13篇,其中以第一作者发表学术论文4 篇、作为通讯作者发表学术论文3篇。


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