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教授
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姓名:宋晓伟(博导)
学历:博士
职称:教授
研究方向:极紫外光刻关键技术、后摩尔时代芯片技术
邮箱:songxiaowei@cust.edu.cn
主要学习、工作经历
学习经历:
1987年9月至1991年7月,长春光学精密机械学院,理学学士
1993年9月至1996年4月,中科院长春光机所应用光学国家重点实验室,光学硕士
2010年9月至 2014年6月,长春理工大学,理学博士
工作经历:
1991年7月-现在,长春理工大学,教师
2003年3月-2004年6月 日本筑波大学物理系半导体研究室,助理研究员
2004年7月-2005年3月,日本独立行政法人产业技术综合研究所金刚石研究中心,助理研究员
主要教学工作
1.主讲本科生课程《光电子技术基础》、《红外探测器》、《专业英语》
2.主讲研究生课程《激光与光电子器件》、《半导体激光器原理》
主要科研工作

主要科研工作成果:

曾在日本和德国工作、访问和学习。现主要开展极紫外光刻关键技术、后摩尔时代光子芯片技术等科研工作。主持或作为核心成员参与国家科技部973项目课题、国家自然科学基金以及省部级科研项目等30余项,在国内外重要期刊发表学术论文30余篇,出版学术专著2部。

近年来作为课题组长主持的主要项目如下:

1.国家自然科学基金面上项目  基于PEEM技术的受控飞秒传输表面等离激元高时空分辨成像研究  2023/12-2027/12

2.科技部国际合作项目 激光雷达双频计量、空气导航及其系统  2019/01-2020/12

3.装备预研与国防基础科研项目 KYC-JH-XM-2018-026   2018/1-2021/1

4.吉林省科技厅国际合作项目 高端芯片制造中反射式光刻掩模缺陷识别与补偿技术研究  2021/07-2024/06

5.吉林省教育厅 基于纳米结构的超快等离激元近场操控研  2018/01-2019/12

6.重庆市科技局自然基金  极紫外光刻掩模白板缺陷的光电子显微成像检测技术研究  2023/07-2026/06

近年来作为核心成员参加的主要项目如下:

1.国家自然科学基金委联合基金重点项目, 极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究 2023/01-2026/12

2.国家自然科学基金面上项目,基于等离激元纳米结构的光辐射超短电子脉冲产生及控制,2018/1-2021/12

3.国家自然科学基金面上项目,极小时空尺度等离激元场相干控制研究,2015/1-2018/12

教学获奖:

1.吉林省在线开放课程红外物理,2017,排名:3/6

2.国家精品资源共享课,2016,排名:6/9

科研获奖:

1.飞秒激光等离子体丝的应用基础研究,吉林省自然科学奖,二等奖,2018.11,排名:5/7

2.激光诱导击穿光谱技术及其应用基础研究,吉林省自然科学奖,三等奖,2020.11,排名:4/5

教材或专著:

1.《飞秒激光在透明介质中的传输与超连续光辐射特性》,国家自然科学基金项目,国防工业出版社,2017年12月,排名:1/3

2.《激光等离子体极紫外光刻光源》,国家自然科学基金项目,国防工业出版社,2018年12月,排名:2/3

3.《飞超快等离激元动力学演化的表征与控制》,国家自然科学基金项目,国防工业出版社,2020年10月,排名:1/4

4.学术论文:

1.Xiaowei Song,et,al. Distinct spatiotemporal imaging of femtosecondsurface plasmon polaritons assisted with theopening of the two-color quantum pathwayeffect[J],Optics Express,2020,28(13),19023-19030.

2.Xiaowei Song,et,al. Spatial- and energy-resolved photoemissionelectron from plasmonic nanoparticles in multiphoton regime[J]. Optics Express, 2019, 27(5), 6878:1-14.

3.Xiaowei Song,et,al.Characterization of ultrafast plasmon dynamics in individual gold bowtie by time-resolved photoemission electron microscopy[J]. Applied Physics B, 2019, 125,3:1-8

4.Xiaowei Song,et al.Ultrafast switching of photoemission electron through quantum pathways interference in metallic nanostructure[J]. Optics Letters, 2018, 43(23):5721- 5724.

5.Xiaowei Song, et al. Two-color multiphoton emission for comprehensive reveal of ultrafast plasmonic field distribution[J]. New Journal of Physics,2018, 20(7), 073031:1-10.

6.Xiaowei Song et al. Disclosing dark mode of femtosecond plasmon with photoemission electron microscopy[J]. Journal of Physics D: Applied Physics. 2017, 50:415309:1-7.

7.宋晓伟等.飞秒传输表面等离激元的近场成像表征与激发效率的调控[J],ACTA PHYSICA SINICA,2021,70卷10期: 253-259

8.宋晓伟等.结构锡靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究[J],中国激光,2021,48卷 16期:1601005-1

9.宋晓伟等. 用于飞秒几个纳米加工的TiO2粒子阵列诱导多种基底表面近场增强[J].物理学报Acta Phys. Sin.,2017, 66(14):144203:1-10.

10.宋晓伟等. Gd靶激光等离子体光源离带辐射及其等离子体演化的研究[J]. 光谱学与光谱分析,2016,36(10):3116-3118.


5.授权发明专利:

1. 国家发明专利

一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法,2021-11-28,专利号:CN111001939 B,排名:1/4

2. 国家发明专利

光学薄膜高维多目标优化设计方法,2020-7-23,专利号:CN111723528B,排名:3/3

3. 国家发明专利

一种利用TiO2粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法,2019-12-31,专利号:CN 107199403 B,排名:1/7

4. 国家发明专利

一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法,2017-07-04,专利号:ZL201310315665.7,排名:3/5


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