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超快光物理
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姓名:匡尚奇(博导)
学历:博士
职称:教授
研究方向:极紫外多层膜工艺及其配套装备研发
邮箱:ksq@cust.edu.cn
主要学习、工作经历
2000年9月-2004年6月,吉林大学物理学院光信息科学与技术专业,理学学士;
2004年9月-2009年6月,师从高锦岳教授,吉林大学物理学院光学专业,理学博士;
2008年获“香港求是研究生奖学金”;2009年获“吉林大学第二十三届精英杯学术大奖赛一等奖”;
2009年7月-2011年8月,中科院长春光机所应用光学国家重点实验室,助理研究员;
2011年9月-2014年12月,中科院长春光机所应用光学国家重点实验室,副研究员;
2015年1月-2020年12月,长春理工大学理学院,副教授,硕士生导师,2020年荣获“长春理工大学大珩青年学者”称号;
2021年至今,长春理工大学,物理学院,教授,2022年5月,博士生导师,2023年获评“吉林省D类高层次人才”。
主要教学工作
曾主讲本科生专业课“光学”和“热学”,2018年主讲的“热学”被校教学督导组评为“优秀课堂展示”,2018年获“长春理工大学教学质量优秀奖一等奖”;
曾主讲本科生公共课“大学物理学”和“大学物理实验”,2019年主讲“大学物理实验—核磁共振效应”被校教学督导组评为“优秀课堂展示”;
验收省、校级教研课题各一项,光学教学研讨会报告一次,一作发表教研论文三篇。
现主讲本科生“物理光学”。
主要科研工作

主要科研工作成果:

针对我国半导体领域的“卡脖子”技术问题,长期致力于极紫外光刻技术及相关装备的研发。2015年至今,先后承担国家级、省市级和企业项目十余项,科研到款近五千万元,发表SCI论文10余篇,获得授权专利7件。2023年,成功研发了国内首台面向高端芯片研制系统的大型超高真空多靶磁控溅射镀膜系统,研发设备镀制的光学薄膜的各项技术指标超过了德国顶尖镀膜系统厂商研制的设备,达到了国际先进水平,实现了2500万元进口设备的国产化替代,并已初步实现量产。研发设备成功交付给我国半导体产业的龙头企业,有力地促进了我国半导体产业在高端芯片研发方面的发展。


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