主要科研工作成果：

主要从事用于制造高端芯片的极紫外光源关键技术方面研究，国内率先开展下一代6.7nm极紫外光刻光源研究工作，自主完成设计并建立新型极紫外光刻光源系统，制造多种新型光源靶，掌握光源优化及减缓光源碎屑关键技术，解决光源碎屑及离带热污染的技术瓶颈问题。实现高功率输出、低离带热辐射、高洁净度的适用于高量产光刻的极紫外光源，有望打破国外垄断光源技术壁垒，为提升高端芯片国产自主研发水平提供光源技术支持。发表极紫外光源方面学术著作1部，论文二十余篇，授权发明专利2项。主持国际自然基金青年项目1项，省部级等科研项目5项。参与科技部国家重点研发计划、国家外专局Ƙ项目、国家自然科学基金面上项目等十余项。