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超快光物理
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姓名:谢卓(博导)
学历:博士
职称:副教授
研究方向:激光等离子体极紫外光刻光源
邮箱:zxie@cust.edu.cn
主要学习、工作经历
(1)学习经历:
2009.09--2013.06 长春理工大学,理学院,光电子技术科学专业,工学学士
2013.06--2019.12 长春理工大学,理学院,光学专业,理学博士
(2)工作经历:
2019.12--2021.12 长春理工大学,物理学院,电子科学技术博士后流动站
2022.01—2022.12 长春理工大学,物理学院,光电信息科学与工程专业(理),讲师
2023.01--至今 长春理工大学,物理学院,光电信息科学与工程专业(理),副教授
主要教学工作
本科生《光电子技术基础》课程
主要科研工作

主要科研工作成果:

面向我国重要“卡脖子”技术之首的光刻技术,开展激光等离子体极紫外光源优化、等离子体仿真、离子碎屑减缓技术等方面研究工作。建立测量和表征极紫外光源的集成装置,掌握实现高输出功率、低污染且长时间运行的极紫外光源关键技术。具体研究成果如下:

以第一或者通讯作者在Optics Express、Plasma Source Science and Technology、Spectrochimica Acta Part B Atomic Spectroscopy以及Journal of Applied Physics等期刊发表学术论文20余篇。作为项目负责人承担国家自然科学基金--青年基金项目1 项;吉林省科技厅自由探索一般项目1 项;重庆市自然基金面上项目1 项;吉林省教育厅科学技术研究项目1 项。作为合作单位的负责人承担国家自然科学基金---重点项目1项。

 


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