物理学院光电子器件实验室起源于上个世纪70年代我校创办的微光夜视技术研究室，自上个世纪70年代开始进行微光夜视技术方面的相关项目研究与开发，曾建立了玻璃微通道板的研制线，先后承担了“空心工艺KW50微通道板”、“实芯工艺SWB—50微通道板”、“CS-56微通道板”、“微球板电子倍增器”、“三代微光防离子反馈膜技术”、“硅微通道板技术”等国家和省部级项目，为我国微光夜视技术发展做出了重要贡献。实验室主要开展新型微通道板制备技术、硅微通道制备及其应用、光电薄膜材料制备等方面的工作。实验室现有固定人员4人。每年招收博士1-2人，硕士10余人。

实验室先后主持科研项目20余项，其中XXX项目2项，国家自然基金项目4项。获国家发明专利授权9项，发表SCI、EI收录论文40余篇。

实验室现有科研场地300余平方米，其中千级超净实验室40平方米。现有仪器设备55台套，总值1000余万元，其中单价达百万以上的1台套，十万以上的共10台套。可进行普通热氧化、高压氧化、光刻、干法刻蚀、薄膜制备、原子层沉积、抛光、电化学测试等实验研究。

半导体电化学腐蚀微加工实验平台

德国SENTECH公司的 SI ALD系统

实验室老师与研究生合影